فرآیند الگویی پردازش میکرو نانو به طور عمده به دو فناوری تقسیم می شود: انتقال الگوی و پردازش مستقیم.فناوری اچینگ پرتو لیزر از قابلیت نوشتن مستقیم برخوردار است و از فرایند چند مرحله ای انتقال الگوی اجتناب می کند و با کنترل پرتو لیزر پر انرژی متمرکز ، ریزساختارهای سه بعدی را بر روی مواد تولید می کند.دارای دقت پردازش اچ میکرو فیلم زیر میکرونی است و برای انواع مختلفی از مواد مناسب است.
فوتولیتوگرافی برای انتقال الگوی ساخته شده روی ماسک فوتولیتوگرافی به سطح بستر است.مهم نیست که چه نوع میکرو پردازش شده است ، فرایند میکرو پردازش را می توان به یک یا چند چرخه از سه مرحله فرآیند رسوب فیلم ، فوتولیتوگرافی و اچ کردن تقسیم کرد.چاپ سنگی در صدر مراحل تولید MEMS قرار دارد و وضوح گرافیکی ، دقت پوشش و سایر خصوصیات به طور مستقیم بر موفقیت یا عدم موفقیت فرایندهای بعدی تأثیر می گذارد.
فناوری تولید میکرو نانو به طراحی ، پردازش ، مونتاژ ، ادغام و فناوری کاربرد قطعات با ابعاد میلی متر ، میکرومتر و نانومتر و همچنین قطعات یا سیستمهای تشکیل شده از این قسمت ها اشاره دارد.فن آوری تولید میکرو نانو وسیله اصلی و پایه مهمی برای ساخت سنسورهای میکرو ، میکرو محرک ها ، میکرو سازه ها و سیستم های میکرو نانو کاربردی است.